科技日報北京10月8日電 （記者付麗麗）8日，記者從國度市場監管總局得悉，該局近日新批準二維鉻納米柵格尺度物資、二維硅納米柵格尺度物資、一維硅納米光柵尺度物資3項國度一級尺度物資，這些物資可以或許同時知足納米制造財產角度和長度校準需求，為新一代信息技巧、新材包養平臺推舉料、生物制造、高端設備等範疇的納米制造供給精準“標尺”。
據尺度物資研制單元同濟年夜學相干專家先容，研制高精度納米級尺度物資，是打造高正確度納米丈量傳遞鏈、晉陞國產納米制造產物東西的品質靠得住性的要害。二維鉻納米柵格尺度物資衝破性地采用分步堆積原子光刻技巧，制備難度較年夜，可直接溯源到天然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率），角度盡瞄準確性在0.001°量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分紅36萬份；二維鉻納米柵格的構造面積普通為300μm（微米）×300μm（微米），在沒有劃傷或損壞的狀態下，每次應用2μm（微米）×2μm（微米），不重復應用丈量區域次數可達20000次以上。其可利用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集包養成電路微納檢測裝備校準，也可利用于對超緊密位移傳感器多種參數的光柵干預法校準。
納米級角度尺度物資的研制勝利，完成了納米丈量範疇的扁平化計量，可經由過程在線校準直接將高精度計量數據傳遞到企業計量現場，防止傳統逐級量值傳遞方法形成的誤差累積縮小，將為我國納米制造財產高東西的品質成長供給無力支持。
據清楚，國度市場監包養網管總局將連續強化納米丈量範疇尺度物資研制利用，進一個步驟處理納米制造“測不了、測不全、測不準”題目，為筑牢新興財產和將來財產技巧基本供給支持保證。
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